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北京激光應(yīng)用系統(tǒng)集成課題組
激光應(yīng)用系統(tǒng)集成課題組成立于2016年8月，隸屬于中國科學(xué)院微電子研究所。團隊的科研目標(biāo)是：通過“光電子和微電子技術(shù)”的集成能力，切實解決企業(yè)的技術(shù)需求，為國家信息產(chǎn)業(yè)服務(wù)。研究開展的領(lǐng)域包括：利用激光器針對微電子器件工藝步驟進行優(yōu)化和替代，定制化光學(xué)整形元件的設(shè)..
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