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北京激光應用系統(tǒng)集成課題組
激光應用系統(tǒng)集成課題組成立于2016年8月，隸屬于中國科學院微電子研究所。團隊的科研目標是：通過“光電子和微電子技術”的集成能力，切實解決企業(yè)的技術需求，為國家信息產業(yè)服務。研究開展的領域包括：利用激光器針對微電子器件工藝步驟進行優(yōu)化和替代，定制化光學整形元件的設..


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